半导体芯片加工废水怎么处理|半导体芯片加工废水如何处理
的项目游戏背景
该半导体材料商家坐落在长四角区县,包括产量8屏幕尺寸和12屏幕尺寸晶圆,日摆放废用水量约2000吨。因为产量工艺设计非常复杂,废水下内含种难生物降解有机酸物和巨资属化合物,傳統治疗办法不易考虑愈发须严格的摆放规格。
废水处理营养成分及源于
废液通常因素于四位重要环节:晶圆打磨废液有丰富硅粉和打磨液残余;普通机械设备制造机械设备制造镜面抛光废液包含悬浊液硅和考虑粉末;刻蚀清洁工作废液有氟化物、铜阴阳离子等天价属;光刻工序废液则有光阻剂等有机化学污染破坏物。饮用水优缺点是COD高(800-1500mg/L)、氟化物质量浓度高(200-400mg/L)、浮悬物多且有微量分析天价属。
加工处理的工艺步骤
选择"物理化学预整理+生化模式整理+长度整理"的女子组合技术:
转换池均等化生活饮用水排水量
沥青混凝土沉定去掉透明桌面物和氢氧化铁物
有机化学水解法专门的操作氟化物,加药系统钙盐生成氟化钙水解
溶解酸性反应池不断提高废污水可什么是生化性
碰触硫化池挥发有机的感染物
催化活性炭纤维离心分离塔确定进一步操作
膜脱离系统性加强组织领导有水出水硬度维持
涉及含铜废水处理工艺同时配置铝离子相互交换装置,回笼有实际价值的复合铜。
结果是使用效果
的项目俊工后行驶安全稳定,有水出COD<50mg/L,氟化物溶液溶度<5mg/L,铜铁离子溶液溶度<0.3mg/L,某项统计指标均远远高于一个国家《光电工业化水水有害物质释放规范》(GB 39731-2020)。今年可变少COD释放约300吨,氟化物释放约50吨,二手回收铜重金属约2吨,推动了的环境社会作用与经济能力社会作用的共盈。