半导体高端封测废水怎么处理方法|半导体高端封测废水处理案例
半导高档次测封配合涉重废液——MVR禁止循环系统零排品牌
工程游戏 背景
半导体器件器件高档次测封楼盘,市场规模150立米米/天,是首批半导体器件器件测封模块化涉重废气零排楼盘。测封教学环节的镀镍、镀铜、引线前端框架刷洗会产生了含镍含铜废气,项目请求"无尾水外排",产水都是使用于产线。
水硬度本质特征与突破点
污废水 以含镍相结合(质量浓度10–100毫克/升),伴氢化物发生器铜、锌,pH波动性大(2–12),另外还有光刻胶残留物的少许有机质物。公测厂训练场紧,想要处置建筑设施土地征用小;零排暗示着着浓水没法土石方工程非常多,应该本机蒸发掉沉淀闭环控制。
清理工学院艺途径
整体布局走"分质自身 → 预补救除杂 → 检查是否奠定除镍 → 吸附 → UF+二级RO → MVR强行间歇蒸馏 → 蒸汽加热水循环":
含镍线先调pH到10–11,污泥脱水氢氧化物物钠转化Ni(OH)₂沉积,后加混炼橡胶钠的深度气体吸附残留物镍(混炼橡胶镍Ksp比氢氧化物物镍更小,里能镍压到0.1毫克/升之下);
沉淀物水流经多媒质净化+收费员净化后进UF,再进特一级RO,产水可以直接回产线洁净;
RO浓水(含盐+稳定度天价属)进MVR直接配置减压蒸馏掉器,直接配置能扛高含盐结渣,减压蒸馏掉器自身带有免费在线洁净,很难堵;
MVR冷凝水水来到回收利用洗手池,蒸馏残液委外燃烧或最为危险废弃物正确处理,另一生活区无液体外排。
关健机械设备显著优点阐明
MVR強制无限反复的相对于普遍降膜多效挥发,无限反复的水流量高、传热系数面不能结镍盐/碳酸盐垢,适于测封这"容量不但饮用水质杂"的情景;立体式化撬装设置征地赔偿比传统意义多效挥发塘+多效多效挥发工作方案小60%以内;臭味侧配建动物滤池,把调整池和飞灰间的臭味获取后生物降解成CO₂和水,防止测封厂毗邻工作区的臭味投述。
解决视觉效果与经济效益
出水量镍≤0.1毫克/升、铜≤0.1毫克/升,相较于《化学镀水污染排卸标淮》表三;全150万m³/天产水造纸废水处理于测封产线家电清洗,使用等量优质水;危废处理(汽化残液+飞灰)量比一般"沉垫+排卸"模式,减约70%。对富士康侧,测封大型项目低能耗准入的卡点挨打通;