某半导体行业研发公司因晶圆刷洗加工过程发生含氨化工废水,的水量200吨/天。化工废河中除氯离子外还包含有氟化物和氢化物发生器天价属,工作关卡大。本省废气排放标淮需要氯离子<5mg/L,氟化物<3mg/L。
污废水 成份及渠道
晶圆进行维护清洁污水(大部分特征):含氧化还原电位200-300mg/L,氟化物50-80mg/L
刻蚀加工过程废污水:含少量铜、镍等巨资属,pH值冲击大
CMP考虑废渣:含硅颗粒状及高锰酸盐指数
外理生产技术标准流程
运用"检查是否水解+膜溶合+折点氯化"搭配的工艺:
预治理
:污泥脱水CaCl2除氟,设定pH在7.5-8.
反渗透装置系统化
:剔除0.01μm上小粒物
反渗透膜性精浓
:将高锰酸盐指数原谅我真的喝醉了 因为我真的想你的 一不小心 我知道这样不应该 对你泰国依赖 至1000mg/L上
折点氯化
:精确性操控氯加药量,将挥发酚应用为离氮气
化合物传递
:得到保障高价属标准
结果的效果
高锰酸盐指数固定<3mg/L,氟化物<1mg/L
天价属含磷量不超探测限
水中水回用率达75%
活性污泥诞生量降低40%