该厂为8厘米晶圆的多个设备配套的超注射用水系統，日常产生含硅化工废水150吨。化工废自来水中虽无巨资属，但硅分子量高易结渣，且内阻率需达标18MΩ·cm方能造纸废水治理 。和原有治理 工艺设备是无法提供新颁布实施的《智能电子工艺水环保问题物产生规范规范》（GB39731-2020）十分产生规范卫生防护距离。 废水处理含量特别 关键污染源物 ：固体硅（200-300mg/L）、粒状硅（粒度0.1-1μm） 特别的标准 ：TOC<10μg/L，硼含铁<5μg/L 水源特征参数 ：低导电率（<50μS/cm）但硅类化合物基本特征复杂的 处里加工的流程 多元化选用"梯级膜分离处理+电去正离子"搭配工艺设计： 微滤预处置 ：1μm卫浴陶瓷膜过滤大小粒硅，通量能维持80LMH 铁离子交流环氧树脂 ：D201大孔硅橡胶选性离心分离硅酸分子结构 五级RO系统性 ：第一个段收购 率60%，第二步段按照高脱硼膜器件 EDI电去化合物 ：瞬时电流黏度2A/m²，坚持彻底清除残留铝离子 红外光谱杀菌消毒 ：254nm紫外线的线摄入量40mJ/cm² 系统创新举措 开拓专门阻硅剂（充分胺类分手后复合物），延长膜危害阶段3倍 EDI包块革新流道设定，硅除掉率增加至99.8% 线上硅阐述仪（衡量使用范围0.1-500μg/L）保证脱贫把控好 执行功效 经其两方检查测量： 总硅从280mg/L下降0.05mg/L 硼含磷量从8μg/L下降0.3μg/L 体系回报率从原40%加强至68% 膜根换周期长不断增加至5年，年执行直接费用大幅度降低35%