该晶圆产出加工厂设在西北的地方,最主要的产出84英寸半导体行业晶圆,每日废水处理产生出量约800吨。是由于产出环节中的使用多氢氧化钠完成晶圆蚀刻,影响废水处理中氟化物浓度值将高达200-300mg/L,远超部委产生出规范(10mg/L下面)。
废水处理工艺材料及主要来源
废水处理大部分产自八个步骤:
晶圆蚀刻制作工序
:含高有机废气浓度氟化物(HF)、氯化铵及极富巨资属
化学式机器抛光处理(CMP)生活污水
:含微米级硅颗料、有机的络合剂
机器设备进行维护清洁废渣
:含异丙醇、化学需氧量等无机物
工作工艺过程过程
选取"化学反应结晶+混疑结晶+宽度活性炭过滤"三级职业资格证书清理系統:
五级进行处理
:加药系统氯化钙和氢硫化钙,建立氟化钙沉淀物,氟化物清理率达85%
一级操作
:增长PAC(聚合物氯化铝)和PAM(高分子聚乙烯酰胺),避开悬浊液态污染问题物
四级操作
:确认多媒介化学活化炭过滤网和化学活化炭溶解,喷水氟化物盐浓度可靠在8mg/L如下
关键的机器设备其中包括:pH自然调试控制系统、斜管放置池、板框压滤设备(污泥处理缺水)。
然后的效果
建设项目加载十年统计数据源数据源体现 :
氟化物平均值浓度值:7.2mg/L(底于一个国家规格)
COD剔除率:92%
生活污水含水分率:≤65%
年收购氟化钙副服务约150吨,做到资源量化通过