该各个企业硅片生孩子操作过程中呈现四氟化硅(SiF₄)废液,酸度约150-300mg/m³,废液中包含小量氟化氢(HF)和氮防氮化合物(NOx)。
工作工艺设计
:
选用“水挥发+碱液结合+亲水性炭吸收”工艺设计:
水吸收率塔
:SiF₄遇油的反应生成二维码氟硅酸(H₂SiF₆)和HF。
碱液结合
:NaOH硫酸铜溶液采和偏酸化合物,提取Na₂SiF₆沉淀物中。
活性酶炭吸收
:进一部除掉残存氟化物及NOx。
开机运行成效
:
正确处理后工业废气氟化物总质量浓度<3mg/m³,NOx<50mg/m³,达成《大气层被污染的物终合直接排放规范》(GB16297-1996)耍求。
四、这个行业存在问题与前景开发新趋势
如今,含氟有机废气物办理的技术已对稳定,但该行业仍要面对下列挑战:
低生产成本提高效率技术性业务需求
:目前拥有湿法治理工作制造费较高,干法溶解剂二次利用技木待系统优化。
网络循环经济再生利用
:如出售氟硅酸准备氟盐,保证窝囊废产品化。
模块化化把握
:顺利通过百度在线检测器与重新调试,增进操作系统性平稳性。
之后,伴随着环保性标准规范趋严,含氟有机废气治理处理将向
便捷化、低能效比、资源性化
路径转型,组合成工序(如等亚铁离子体+促使氧化的)或将加入探究热度。
五、实验结论
含氟有机废液物正确处理需会根据有机废液物营养成分、质量氧化还原电位值的选择适宜的技艺,湿法获取应用到高质量氧化还原电位值弱酸性有机废液物,干法吸出更比较合适低质量氧化还原电位值简化有机废液物。变现经典成功案例隐约可见,组合成技艺能行之有效改善清掉吸收率,提高认识达到污染物。企业公司应配合主观能动性状态,的选择条件能够的的枝术计划方案,也留意行业中新的枝术发展方向,以变现优质与条件竞争力互利共赢。