顶目环境
某大一些的半导体行业营造客户是在长四角东北部,重点生孩子晶圆和电子器件。在生孩子进程中,晶圆切割器和增加光泽时候导致过量磨研液废渣,日访问量产生量约50吨。根据废渣中含有高酸度悬浮按钮物、合金金属亚铁离子及有机物放入剂,可以产生会对工作环境有厉害环境污染,客户急需要发展技术专业办理体系。
废渣因素及特征
粉磨液生活污水常见源头于晶圆代加工中的耐腐蚀机械制造打磨(CMP)工艺程序,常见的固体废弃物还包括:
透明桌面粒子物
:二硫化硅、硫化铝等研磨抛光小粒,颗粒直径在0.1-1μm,溶度可以达到2000mg/L。
彩石亚铁离子
:铜、铁、锌等,出自于打蜡 垫磨损情况及晶圆单单从表面金属材质层,铜阴离子溶度约50mg/L。
有机酸增多剂
:包含外层活力剂、阻垢剂等,COD值在800-1200mg/L。
酸酸碱度性物资
:pH值下跌大,一般在2-11相互。
净化处理技术步骤
对于生产废水性,选择“预加工处置+生物化+淬硬层加工处置”团体工艺设备:
可以调节池
:匀衡水质量容量,增长腐蚀性调试pH至一般的中性。
混泥土奠定
:加药系统PAC(配位碱式氯化铝)和PAM(聚炳烯酰胺),除掉悬浮物物和溶液,沉降后SS除掉率>90%。
催化脱色脱色
:采用了Fenton化学试剂(H₂O₂+Fe²⁺)化学降解无机增长剂,COD出掉率达60%。
生物学操作
:MBR膜生态学响应器进一部溶解乘余有机化学物,COD低于100mg/L下。
阴离子调换
:专属光敏树脂气体吸附铜阳离子,出水量铜浓度<0.5mg/L。
砂滤+几丁质酶炭滤水
:加强组织领导有水出清澈见底,起到《生活污水整合排出原则》(GB8978-1996)一級原则。
不可能结果
系统化启动固定后:
SS<10mg/L,COD<60mg/L,铜铁离子<0.3mg/L。
中水回用率达40%,结余达到排出,年少电镀废水排出1.6万吨。
进行处理代价约15元/吨,远少于这个行业大概。